イットリア（Y2O3）は、科学的に安定したセラミックスであり、腐食性のあるガスやプラズマに非常に強い耐性を持っています。この特性から、製品の不良率の低減を目的として、半導体装置の部品 等、様々な用途で利用されています。

また、優れたクリープ特性を持ち、高温下で使用しても反り・曲がりが発生しにくい特性もあります。