A995-M07は、半導体製造装置・高周波部品・精密機器向けに開発された高純度アルミナ(99.5%以上)です。粒子設計・成形技術・焼成条件を最適化することで、高強度・低誘電損失・大型化対応を同時に実現しました。
成形体密度の向上と顆粒設計の最適化により、従来材より約15〜20%の強度向上。
□160mmブロック、φ140×L180mmパイプ 等の焼成実績があります。成形では焼成後推定φ240mmまで対応。
• 半導体製造装置 • 精密機器部材 • 高温構造材 • 大型セラミックス治具・セッター・パイプ
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