半導体用セラミック(開発中)

高強度 × 低誘電損失 × ⼤型化対応
A995-M07(アルミナ)

A995-M07は、半導体製造装置・高周波部品・精密機器向けに開発された高純度アルミナ(99.5%以上)です。粒子設計・成形技術・焼成条件を最適化することで、高強度・低誘電損失・大型化対応を同時に実現しました。

 

特徴

高強度

成形体密度の向上と顆粒設計の最適化により、従来材より約15〜20%の強度向上。

形状

□160mmブロック、φ140×L180mmパイプ
等の焼成実績があります。成形では焼成後推定φ240mmまで対応。

主な用途

• 半導体製造装置
• 精密機器部材
• 高温構造材
• 大型セラミックス治具・セッター・パイプ

物性

評価項目 A995-M07
純度 99.6%
密度 3.9 g/cm³
3点曲げ応力 420 MPa
ヤング率 400 GPa
比誘電率(1MHz) 9.9
誘電正接 5 ×10⁻⁴
熱膨張率​  (50℃-400℃) 7.4×10⁻⁶/K
熱膨張率(50~800℃) 8.3×10⁻⁶/K
熱伝導率 32 W/mK
比熱(RT) 0.85 ​J/gK

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